德國Polytec MSA-100-3D顯微式測振儀可在大帶寬范圍內實時測量被測物體的動態特性，分辨率高，同時記錄和分析XYZ三個方向的振動分量。

德國Polytec MSA-100-3D顯微式測振儀產品簡介：

MEMS系統的3D振動測量：

實物的振動通常是三維振動。雖然可選擇優先顯示某特定方向的振動，但由于存在產品公差和其它影響，在其它空間方向也存在運動分量。 MSA-100-3D顯微式激光測振儀可在大帶寬范圍內實時測量被測物體的動態特性，分辨率高，同時記錄和分析XYZ三個方向的振動分量，每向的振幅分辨率均達到亞皮米級。

德國Polytec MSA-100-3D顯微式測振儀產品特點：

實時振動測量，高達25MHz的大帶寬

用于面外和面內振動測量，振幅分辨率達亞皮米級

單點式和全場掃描式振動測量

激光光斑小于4μm，橫向分辨率高

測試距離大，可達38mm

可與常見的MEMS商用探針測試臺兼容

德國Polytec MSA-100-3D顯微式測振儀典型應用：

慣性傳感器，如加速度計和陀螺儀

微機電傳感器和致動器 (MEMS)

打印機噴墨頭

壓力傳感器薄膜

耳機、微型鏡頭等