德國英?？礗NFICON Transpector MPH/MPS質譜儀，是一款殘余氣體分析儀，用于一般真空應用。
德國英?？礗NFICON Transpector MPH/MPS質譜儀產品簡介：
INFICON, RGA為您提供標準的和高性能的殘余氣體分析儀來滿足您真空應用的需要. Transpector MPS 和Transpector MPH 均具有工業的數據收集速率, *小的可檢分壓(MDPP) 和訊噪比. 加上低的總體擁有成本和高的平均無故障時間(MTBFs), Transpector MPS 和 Transpector MPH 幫助您的收益底線遠超過市場上其它RGA系列產品.
1、TRANSPECTOR MPS–氣體分析的標準
Transpector MPS 設計用于要求具有驗證的 Transpector 品牌的高耐用性能,一般真空應用中的 RGA 分析. 質量范圍100 或200 amu 的 Transpector MPS 提供標準的監測性能. RGA 的標準裝備是法拉第杯檢測器,當需要監測低濃度氣體時, 可選用電子倍增器檢測器.
2、TRANSPECTOR MPH–高性能用于高要求的應用
Transpector MPH 設計用于要求 RGA 具有*高監測性能的應用中. Transpector MPH 可提供 100, 200 和 300 amu 三種不同的質量范圍, 具有工業上*低的 MDPP. TranspectorMPH 可裝備法拉第杯或電子倍增器檢測器, 以及提供可選的校準氣體, 用于簡易和RGA 質量標度自動調諧的校準參考.
3、傳感器設計用于工業的MBTF和低的總體擁有成本
綜合地采納客戶的反饋和深入的市場分析, INFICON 革新了Transpector MPS 和 Transpector MPH 的離子源. 新型離子源在陽及, 陰及和反射及的組裝件中包含兩根燈絲. 帶有備用燈絲的雙燈絲結構可延長 RGA 的運行周期和避免出現意外的系統停機故障. Transpector MPH 還提供特定應用的燈絲選擇(鎢燈絲用于含鹵素的過程中或涂敷氧化釔的銥燈絲用于含氧的過程中) 確保過程本身不會影響燈絲的使用壽命.
在一般真空應用中 Transpector MPS 裝備涂敷氧化釔的銥燈絲.在Transpector MPH 或 Transpector MPS 中, 更換燈絲組件等同于傳統 RGAs 中更換整個離子源. 成本的節約將大大地降低這兩種 RGAs 的總體擁有成本.
新型傳感器結構提供更多的優越性, 可現場更換電子倍增器 (如裝備). 您可在定期的維護周期中快速地現場更換 EM. 新型倍增器已發展為具有更長使用壽命, 提供更高的法拉第杯(FC) 靈敏度和更強的增益.
4、可定標的通訊方法用于現代化的制造*心
Transpector MPS 和 MPH 采用以太網作為 RGA 與計算機之間默認的通訊手段. 對于單傳感器運行, 可將傳感器連接至現有的網絡或直接連接任何計算機上的以太網端口. 采用現有的網絡或用可選的路由器或以太網開關, 可實行多傳感器運行.
5、滿足您需要的軟件
Transpector MPH 與得獎的 FabGuard 程序套件是完全兼容的, 包括與 FabGuard 工藝集成監測軟件和FabGuard Explorer 檢測軟件.
為易于運行, Transpector MPS 設計于使用FabGuard Explorer 軟件. 兩種 RGAs 均配備機載的網頁服務器,它允許從連接網絡的任何設備, 無軟件運行您的 Transpector MPS 或 MPH. 這個網頁服務器不僅是可查閱標準數據的單個程序. 而是允許用于您預期的全部手動數據查閱技術, 包含檢漏和傳感器調諧等標準維護功能的網頁服務器.
德國英?？礗NFICON Transpector MPH/MPS質譜儀產品特點：
超快的數據收集
校準參考
TCP/IP 以太網連接性
雙燈絲
可現場更換電子倍增器
組合的陽及,陰及和反射及, 燈絲套件
可更換的傳感器和電子學
RoHS符合性
德國英?？礗NFICON Transpector MPH/MPS質譜儀應用領域：
1、真空爐
真空爐有不同的形狀和大小. 不管它們的用途如何, 均易于污染和出現漏泄. INFICON Transpector MPS 和 MPH 設計于防護這些不可避免的問題. 為確定是否存在空氣漏泄,可采用Transpector MPS 或 MPH RGA 掃描, 檢測系統中的氣體狀態搜索是否存在 (氮和氧的比例為 4:1)的空氣, 使用內置的檢漏檢查功能可將 RGA 轉變成為一臺就地氦檢漏儀. 可編程 FabGuard 傳感器控制器, 當出現空氣漏孔時, 即發出報警.
使用 Transpector MPH 檢測空氣漏孔的出現, 并通過報警, 觸發訊號(數字輸出或繼電器)或發出電子郵件自動通知用戶.Transpector MPS 或 MPH 還可顯示來自泵的返流或不清潔部件的污染.
2、真空鍍膜
不管 PVD 過程的類型(EB-PVD, IB-PVD, 標準 PVD),與其它監測方法不同的是, INFICON TranspectorMPS 和 MPH 將為您提供系統的監測情況. 無論是監測過程室中的空氣漏孔還是氣體管道中的污染,Transpector MPS 和 MPH 均可提供手動或自動化的檢測結果
當需要查明為什么您的過程室未能抽空至它的本底真空值時,采用 FabGuard 中的內置真空診斷,Transpector MPS 或 MPH 將自動鑒別存在于系統中的氣體種類.
3、熱處理
任何低壓強熱處理應用均可得益于 Transpector MPS 或 MPH 的使用. 如擔心是否存在一種特殊的氣體將與金屬產生相互作用時,Transpector MPS 或 MPH 可監測它的質量數, 并顯示其存在和相對的量值. Transpector MPS 或 MPH 還可用于在本底壓強下的實時檢漏監測或手動檢漏檢查.
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