日本Horiba STEC SEC-E50氣體質(zhì)量流量控制器是一種計測和控制流體流量的裝置,質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用,例如半導體工業(yè)、太陽能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等。
日本Horiba STEC SEC-E50氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品簡介:
所謂質(zhì)量流量控制器是一種計測和控制流體流量的裝置。流體的流量計測通常可分為體積流量和質(zhì)量流量。體積流量由于受到計測時環(huán)境溫度和壓力的影響,如需要準確測定時,須對溫度和壓力進行調(diào)整。而質(zhì)量流量計在測定流體質(zhì)量的時候,不容易受到環(huán)境溫度和壓力等外在因素的影響而能準確地進行流體測量。在須對流量進行準確計測和控制的領(lǐng)域,質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用,例如半導體工業(yè)、太陽能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等。