時婷婷
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日本Horiba S48 28氣體質量流量控制器響應快速，可任意角度安裝，可對零點漂移有效的控制。
日本Horiba S48 28氣體質量流量控制器產品特點：
可以任意角度安裝
良好的線性——多段線性補償
快速的響應
電磁閥使用壽命大于等于100萬次
對零點漂移有效的*制
良好的選擇性
日本Horiba S48 28氣體質量流量控制器安裝尺寸圖：
日本Horiba S48 28氣體質量流量控制器技術參數：
編號
項目
S48 28/HMT
1
流量規格
(100,150,200)L/min
2
調節閥類型
電磁調節閥
3
調節閥靜止狀態
常閉
4
安裝角度
任意
5
流量控制范圍
5%~100%
6
流量測量范圍
0~100%
7
響應時間
2s(T98,設定值的±2% F.S.)
8
工作環境溫度
5℃~50℃
9
精度保證溫度
15℃~35℃
10
精度
±1.0%F.S.
11
線性精度
±0.5%F.S.
12
重復性
±0.2%F.S.
13
工作壓差
(100/150/200)L/min:(100/150/200)~300kPa
14
耐壓
3MPa
15
泄漏率
1×10-8 Pa?m3/s (He)
16
接觸氣體材料
316L,PTFE,Viton氟橡膠
17
管路接頭
Swagelok:3/8″ Φ10 VCR:1/2″VCR:1/4″3/8″
18
供電電源
±15VDC(±5%) +15V,<100mA;-15V,<200mA
+24VDC(寬電壓+11~+25V),<350mA(+24VDC供電時)
19
設定信號
(0~5)VDC 輸入阻抗>1MΩ
4~20mA;(可定制:1~5V或0~5V)
20
流量輸出信號
(0~5)VDC 負載能力≤3mA
21
電氣接頭
D-SUB15,D-SUB9
22
重量(kg)
2.8
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